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電子混合氣體

電子混合氣體

電子混合氣體

電子混合氣體

湖南遠創氣體有限公司近幾年來持續加大電子氣體投入,于2018年成為“集成電路材料產業技術創新戰略聯盟”成員。憑借豐富的配氣經驗,先進的分析能力(CNAS認證實驗室)和嚴謹的管理體系,不斷開發滿足客戶需求的氣體產品,形成了以混合氣為主,特殊化學氣體及高純氣為輔的產品線,相關產品 已經應用于LED、IC、光伏等行業。

氣體組分

含量

閥門

充裝壓力

PH3/H2

ppm級 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

PH3/N2

ppm級 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

PH3/He

ppm級 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

SiH4/H2

ppm級 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

SiH4/N2

ppm級 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

B2H6/H2

ppm級

DISS632/CGA350

10MPa

30%O2/He

 

DISS714

12MPa  

20%O2/Ar

 

DISS714

10MPa

3%H2/Ar

 

DISS724

10MPa

15%O2/Ar

 

DISS714

10MPa

0.5%O2/He

 

DISS714

12MPa

1.2%He/N2

 

DISS714

12MPa

F2/Kr/Ne

 %含量

CGA679/DISS728

13.8MPa

F2/Ar/Ne

 %含量

CGA679/DISS728

13.8MPa

Kr/Ne

 %含量

CGA580/DISS718

13.8MPa

Ar/Xe/Ne

 %含量

CGA580/DISS718

13.8MPa

4%H2/N2

 

DISS718

12MPa

2.7%C2H4/He

 

JISS22-14OR

12MPa

99.9% NO

 

JISS22-14-OR

3.5MPa


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