国产精品国产精品国产专区不卡

歡迎光臨湖南遠創氣體公司!

一站式氣體產品供應商

提供完善的用氣解決方案

咨詢熱線:

18569052610

乙硅烷|Si2H6

乙硅烷|Si2H6

產品簡介

乙硅烷是一種無機化合物,其化學式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明,且具有一定刺激性氣味的有毒氣體,在自身蒸汽壓下是無色透明液體。乙硅烷氣體可以與氫氣、氬氣、氮氣、氦氣等以任意比例混合,可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空氣中能自燃,著火點低于室溫,因此,乙硅烷遇到空氣瞬間燃燒,并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬,在0.2%以上時,燃燒發出火焰,在0.2%以下時,發生氧化反應生成白色的SiO2。用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。在太陽能電池生產中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。 在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強,效果明顯好于用其他氣體作離子源。乙硅烷是一種無機化合物,其化學式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質,但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩定,在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300~500℃分解成為SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。

基本性質

乙硅烷為無色透明液體,在空氣中自燃,著火點低于室溫,遇到空氣即瞬間燃燒,并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬,濃度在0.2%以上時,燃燒發出火焰;濃度在0.2%以下時,進行氧化反應生成白色的SiO2。在氯氣中爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應,但如果是在低溫,則適度地進行鹵化。與SF6接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應。與堿金屬及汞合金反應分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用游離出H2。與純水和酸不反應,但與堿反應生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量堿的存在,也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質的存在下,在常溫也緩慢地分解。
Si2H6—→ SiH4+ (SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等,但對大多數金屬不腐蝕。
主要用途
1、用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。在太陽能電池生產中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。 在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強,效果明顯好于用其他氣體作離子源。
2、在半導體工藝中用于外延和擴散工藝。

在線預訂

*
*

18569052610

版權所有:湖南遠創氣體公司
技術支持:競網智贏 營業執照查詢
網站地圖 湘ICP備20011390號-1

聯系我們

湖南遠創氣體有限公司

聯系人:李經理-市場營銷一部經理    

電話:18569052610

聯系人:杜經理-市場營銷二部經理   

電話:19572998486

華中區地址:長沙市含浦工業園C區

華東區地址:上海市寶山區金宏路519號

華西區地址:成都市大灣鎮團結東路8號

華南區地址:廣州市萬頃沙工業園18號

華北區地址:北京市李橋鎮任李路201號

掃描二維碼

掃一掃

18569052610

掃一掃

国产精品国产精品国产专区不卡