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硅烷SIH4|甲硅烷|四氫化硅|高純硅烷氣體

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高純硅烷氣體SiH4|甲基硅烷|四氫化硅|硅烷混合氣

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硅烷 - 基本信息

中文名 硅烷
英文名 Silane
別名 甲硅烷
英文別名 Silaneinnitrogen
silicon hydride
CAS 7803-62-5
EINECS 232-263-4
化學式 SiH4
分子量 32.1176
InChI InChI=1/H4Si/h1H4
密度 1.114
熔點 -185℃
沸點 -112℃
產品用途 用于集成電路制造、太陽能電池、涂膜反射玻璃等
危險品標志 F+ - 極易燃物品
極易燃物品
Xn - 有害物品
有害物品
風險術語 R12 - 極度易燃。
R17 - 在空氣中可自燃。
R20 - 吸入有害。
安全術語 S9 - 保持容器置于良好通風處。
S16 - 遠離火源。
S33 - 采取措施,預防靜電發生。
S36/37/39 - 穿戴適當的防護服、手套和護目鏡或面具。
危險品運輸編號 UN 2203
上游原料 硅灰 氯化銨 
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容器規格 容器尺寸 (cm) 平均重量 (kg) 閥門/螺紋出口  充裝量
49LDOT硅烷鋼瓶 23×140 70 CGA350/Diss632 10kg、15kg
440L硅烷Y罐 60×180 390 CGA350/Diss632 125kg

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